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    大范围压电扫描台Carrier.S200.XY

    • 产品型号：
    • 产品时间：2023-12-26
    • 简要描述：室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
    • 产品介绍

    室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征


    ⼤范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊

    • 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

    • 闭环定位精度优于 1nm；

    • 最⼤负载 500 g；

    • 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

    • ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级


    Carrier.S200.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
     

    可选版本 ⇨

    正常版本

    .NM     绝对⽆磁版本；

    .HV，     ⾼真空版本 ;

    .UHV ，超⾼真空版本；

    1           底⾯尺⼨*⾼度

    180 mm × 150 mm × 20 mm

    2           主体材料

    铝合⾦

    3            中空透孔

    80 mm × 60 mm

    4           运动⾏程

    200 um × 200 um

    5            闭环分辨率

    优于1nm

    6           推荐最⼤负载

    500 g

    7            闭环传感器

    电容式

    8            电容精度

    0.3 nm

    9           压电电容(X, Y)

    6.5 uF

    15 到 40 摄⽒度

    10          推荐使⽤温度

    11          质量

    1 kg

    12          安装

    螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY

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